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공동활용장비

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대학별 공동활용장비 소개

[ 광학/전자영상장비 ]다공성 탄소 3D모델링 지원용 전계방출형 주사전자현미경 Field Emission Scanning Electron Microscope For 3D Pore Structure Modeling Of Porous Carbons 예약하기
활용범위 : 작업의뢰
활용대상 : 희망자
예약방법 : 링크
이용방법 : 분석의뢰

문의번호 (전주대학교 연구장비 서비스)

예약문의 홍미경
연락처 hmk4535@jj.ac.kr(010-5353-4784)

제품스팩

제작사명 Hitachi
모델명 SU8600
ZEUS 등록번호 Z-202311220993
구성 및 성능

집속된 전자 beam에 강한 자계를 걸어 시료와 전자빔과의 상호작용에 의해 방출되는 이차전자 (Secondary electron, SE) 혹은 후방산란전자 (Back scattered electron, BSE)을 이용하여 물질 표면의 형상이나 구성을 관찰 또는, EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)를 이용한 원소 정성 및 정량 가능

◎ FE-SEM

1. Resolution : 0.6nm guaranteed at 15 kV

      0.7nm guaranteed at 1 kV

2. Magnification : ~ x2,000,000(Photo mode)

3. Accelerating voltage : 0.01 to 30 kV

4. Probe current : ~ 500 nA

5. Specimen movements : X : ~ 70mm,  Y : ~ 50mm, Z : ~ 40mm

T : - 4 to + 70˚, R 360o 

Computer control by motor drive stage

◎ EDS

1. Detecor size : 100mm2 (127 eV at 130,000 cps)

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